分子束外延生长InAsSb材料的组分控制

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jedy2008
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采用分子束外延方法在GaAs和GaSb衬底上生长了一系列InAsSb薄膜,研究了Sb组分与Sb4束流间关系.实验发现,在分子束外延生长中,相比As原子,Sb原子更易并入晶格中.利用该特性可较好实现InAsSb材料的组分控制.
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