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该文介绍的是基于激光多卜勒原理，采用双路两焦点测试磁头飞行姿态的新技术。它可以测出亚微米级的动态位移，分辨率可达０．００８μｍ。
双路两焦点磁头飞行资态测试技术的光路系统
【摘 要】
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该文介绍的是基于激光多卜勒原理，采用双路两焦点测试磁头飞行姿态的新技术。它可以测出亚微米级的动态位移，分辨率可达０．００８μｍ。
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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1993年4期
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