【摘 要】
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微机电系统(MEMS)在研究领域已经有很长历史了,但一直没有真正进入大规模产业化阶段。而现在将硅芯片和微机械结构结合在一起的光学元件为MEMS带来新的商业机会。MEMS热了起
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微机电系统(MEMS)在研究领域已经有很长历史了,但一直没有真正进入大规模产业化阶段。而现在将硅芯片和微机械结构结合在一起的光学元件为MEMS带来新的商业机会。MEMS热了起来,各种新起步的MEMS公司开始吸引大量的风险资金。一些在此领域已经发展了数年的公司宣称自己开始得到回报,甚至已经赢利。但业内人士认为MEMS元件仅仅是刚开始从实验室走向实用,对许多半导体公司来说,MEMS业务最终能否取得成功的关键在于他们如何充分利用在IC方面获得的设计、制造和市场经验。
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