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氢化非晶硅在器件表面钝化工艺上的应用
氢化非晶硅在器件表面钝化工艺上的应用
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cdabcabc
【摘 要】
:
氢化非晶硅具有半绝缘、富含氢和电中性等特点。本文概述了非晶硅的表面钝化工艺及其钝化效果,对其钝化机理也进行了讨论.
【作 者】
:
毛友德
刘声雷
【机 构】
:
合肥工业大学应用物理系,合肥工业大学应用物理系安徽合肥230009,安徽合肥230009
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1993年7期
【关键词】
:
氢化非晶硅
器件
表面钝化
a-Si:H
Surface passivation
Semiconductor divice
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氢化非晶硅具有半绝缘、富含氢和电中性等特点。本文概述了非晶硅的表面钝化工艺及其钝化效果,对其钝化机理也进行了讨论.
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