高质量纳米ZnO薄膜的光致发光特性研究

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报道了利用低压 金属有机物化学气相沉积技术生长纳米ZnS薄膜 ,然后 ,将ZnS薄膜在氧气中于 80 0℃温度下进行热氧化制备高质量纳米ZnO薄膜 .x射线衍射结果表明 ,纳米ZnO薄膜具有六角纤锌矿多晶结构 .室温下观察到一束强的紫外 (3.2 6eV)光致发光和很弱的深能级发射 .根据激子峰的半高宽度与温度的关系确定了激子 纵向光学声子 (LO)的耦合强度 (ГLO) .由于量子限域效应使ГLO减少较多 . Reported the use of low-pressure metal organic chemical vapor deposition growth of nano-ZnS thin film, and then the ZnS thin film in oxygen at 80 0 ℃ temperature thermal oxidation of high-quality nano-ZnO film prepared by X-ray diffraction results show that the nano-ZnO thin film has a hexagonal Wurtzite polycrystalline structure.A strong ultraviolet (3.2 6eV) photoluminescence and a very weak deep-level emission were observed at room temperature.According to the relationship between the half width of the exciton peak and temperature, the exciton longitudinal optical Coupling strength of phonons (LO) (ΓLO). ΓLO decreases more due to quantum confinement effects.
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