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报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127．8°Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对电极构成，其叉指周期为400μm，宽度为100μm，孔径为12mm，整个器件的尺寸为26mm×26mm×0．45mm。由于铌酸锂晶体的各向异性，叉指换能器沿Y、X方向的谐振频率不同，分别为9．3MHz和9．6MHz。基于铜材料相对于铝材料的优点，选用了铜材料并采用剥离工艺制作了电极，得到了优化的工艺参数。最后，用了超长时间超声波辅助方法彻底去除残胶，实