FPA—2000il型i线步进机

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yaoyaoqi

【摘要】

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<正> FPA—2000il型i线步进机是日本佳能公司生产的用于16MDRAM批量生产的机型。该装置配备了数值孔径为0.52、曝光面积为加20mm见方的i谱线透镜。16MDRAM的设计规范约为0.5

【作者】

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郑国强王庆丰

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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1991年3期

【关键词】

：

LSI 光刻 i线步进机曝光透镜

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<正> FPA—2000il型i线步进机是日本佳能公司生产的用于16MDRAM批量生产的机型。该装置配备了数值孔径为0.52、曝光面积为加20mm见方的i谱线透镜。16MDRAM的设计规范约为0.5μm。FPA一2000il型机具有0.5μm的分辨率,是满足0.5μm工艺时代的大数值孔径i线步进机。

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