Study the Characteristics of Titanium Oxide Hydrogen Ion Sensor Using XRD and AES

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：junjiec

【摘要】

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<正>We study the extended gate ion sensitive structure,and deposit the titanium oxide (TiO_2) thin film on p-type (100) silicon substrate.The device of the hydr

【作者】

：

Jung-Chuan Chou Hung-Hsi Yang

【机构】

：

GraduateSchoolofElectronicEngineering

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

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<正>We study the extended gate ion sensitive structure,and deposit the titanium oxide (TiO_2) thin film on p-type (100) silicon substrate.The device of the hydrogen ion sensing structure is TiO_2/Si-substrate,and a commercial device of the metal oxid

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