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本文介绍了气体流量、射频功率、负载大小、薄膜的均匀性及系统中存在的水汽等工艺条件等离子体发射光谱的光发射强度的影响及其实验结果。
干法腐蚀工艺条件对光发射强度的影响
【摘 要】
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本文介绍了气体流量、射频功率、负载大小、薄膜的均匀性及系统中存在的水汽等工艺条件等离子体发射光谱的光发射强度的影响及其实验结果。
【机 构】
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华东师范大学电子系,华东师范大学电子系上海,上海,上海
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1989年10期
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