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主要介绍了VO2薄膜的微、宏观相变机理,阐述了溅射法制备VO2薄膜的优势及影响薄膜性能的一些因素,指出了今后VO2薄膜的研究重点.
溅射法制备VO2薄膜的研究现状
【摘 要】
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主要介绍了VO2薄膜的微、宏观相变机理,阐述了溅射法制备VO2薄膜的优势及影响薄膜性能的一些因素,指出了今后VO2薄膜的研究重点.
【机 构】
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重庆工学院材料学院,重庆,400050
【出 处】
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城市道桥与防洪
【发表日期】
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2007年期
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