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为了满足微电子机械系统的飞速发展，探讨了一种程序简单、计算成本较低的微尺度流动数值模拟新方法一广义微分积分方法。研究工作根据微尺度库埃特流动特点对N—S方程加以改进，建立起相应的理论模型，采用这个模型流动模拟能拓宽到滑移流动区和过渡流动区。然后采用广义微分积分方法来进行流场数值模拟，并用蒙特卡洛直接模拟方法（DSMC）加以验证，结果表明利用新建理论模型的模拟结果与验证结果基本吻合，但是也发现随着努森数的增加两者的误差增加，表明新建理论模型还有必要进一步完善。