【摘 要】
:
良率(yield)是反应集成电路产品成品率的一项关键参数,在实际生产中由于晶圆边缘的平整度等与晶圆中心存在很大的差异,导致晶圆边缘有效芯片(die)的良率很容易受多种因素的影
论文部分内容阅读
良率(yield)是反应集成电路产品成品率的一项关键参数,在实际生产中由于晶圆边缘的平整度等与晶圆中心存在很大的差异,导致晶圆边缘有效芯片(die)的良率很容易受多种因素的影响,造成良率损失,因此提高晶圆边缘有效die的良率是光刻工艺的一个研究重点。本文通过对比分析正常和异常die中对聚焦值(focus)变化影响较敏感的光阻稀疏沟槽图形(ISO trench image)差异,在明确了散焦(defocus)程度和产生原因的前提下,提出了一种新的结合晶圆载物台倾斜(wafer stage tilt)加上曝光
其他文献
民主集中制是我们党的根本组织制度和领导制度,也是科学的领导和决策方法,贯彻好这一原则,“一把手”起着关键的作用。目前,一些领导班子由于把握不好民主与集中的尺度,在具
给出了一种基于全搜索块匹配算法的运动估计电路的改进结构,并完成了VLSI设计.通过采用多端口匹配策略和双时钟方案,使得在提高先前帧搜索区域像素数据重复利用率的同时,将脉
最近和静县人民法院对以吐尔逊江为首的非法捕杀珍贵动物马鹿的团伙进行了审判。根据刑法有关条款的规定,法庭以非法狩猎罪分别判处首犯吐尔逊江有期徒刑一年半;哈德尔、伊热
人们欣赏园林景色是多方面的,园林植物的配置是根据因地制宜,并注意保持景观的相对稳定性以及根据植物特点,全面考
随着网络信息时代的到来,大部分高校已初步形成以网络为平台的信息化教育模式。本文从分析网络教学的优势与缺陷入手,找出现阶段高校网络教学存在的问题,并针对这些问题.提出了初
针对数据流系统中的查询处理机制进行了深入的研究,从内存使用量和查询的实时性两方面进行综合考虑,提出了一种适应性查询优化策略Slope.该策略一方面可以根据各操作符的选择
林业标准化是林业技术和管理的法规,是推动林业生产现代化、管理科学化必不可少的措施。由于林业生产地区性强,具有长期性、连续性等特点,如措施不当造成失误,将导致重大损失
当前高等教育改革不断深入,高等师范院校实施人文素质教育势在必行,本文结合我校实际从改革教学管理制度、改变课程结构、提高教师素质、加强学生职业技能训练以及加强实践环
嵌入式实时数据库系统不仅需要较高的成功率,而且往往是在无人工干预的情况下运行,要求事务具备自我调节能力和较强的适应能力.事务必须支持功能替代性,在并发控制策略CCCP中
随着Web Service技术的广泛应用,QoS成为一个非常重要的问题.以服务响应时间为QoS参数,验证了一种基于Web Service的分级QoS方法,提出了目标时间预设模型,并针对优化问题提出