【摘 要】
:
对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构,设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路
【机 构】
:
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
论文部分内容阅读
对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构,设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路具有对寄生电容不敏感的特点,并在0.35-μm CMOS标准工艺下流片实现。基于流片得到的电容检测ASIC样片,以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,通过力平衡反馈方案设计实现了一种闭环微机械加速度计。实验结果表明:该闭环微加速度计的灵敏度为650 mV/g,噪声基底为23.17μg Hz。
其他文献
1997年2月,我院成立了成人教育学院(二级院)。该院的组建是贯彻我院“九五”规则和2010年远景目标的具体工作步骤。将在保证质量完成我院本专科和研究生培养任务的基础上,最
石英谐振器的设计是实现高精度石英振梁加速度计的关键。首先对石英晶体的最优切型切角结构进行研究,确定石英晶体的最优切型切角为(xyt)5°。其次,理论分析并通过仿真验证
目的研究多索茶碱联合头孢他啶治疗老年慢性肺气肿患者的临床治疗效果。方法选择2018年1月~2019年2月我院收治的72例老年慢性肺气肿患者作为研究对象,随机将72例患者分成对照
机抖激光陀螺的捷联惯性导航系统结构设计的关键在于惯性测量单元(IMU)的减振设计。文章描述了一种IMU减振系统设计的方法,并在实际应用当中获得良好的效果。IMU减振系统的设计
为了提高空间稳定惯性导航系统的姿态角测量精度,建立了壳体翻滚失准角模型,给出了从壳体翻滚失准角幅值和初始相位到当地水平坐标系下的姿态转换矩阵的传递规律。利用静态下平
卞孝萱同志的《关于汪士慎的几个问题》一文,(载1962年《文物》第十期)对汪士慎的生卒及其生平等各方面作了一些考证,对研究这位画家的生平及其艺术是有益的。尤其是对《巢林
均衡而明丽的画面,展示着大自然的种种温柔。这里没有惊雷疾雨,飘拂着和风,一片宁静。即使面对飞流,依然保持着静观的乐趣。作者用笔考虑周全,意在安镇那精神上的躁动?这是我
我院校友中央工艺美术学院装饰艺术研究博士生、青年教师李砚祖《工艺美术概论》,最近由吉林美术出版社出版,全书32万字,几十章:《导论造物的文化与艺术》、《工艺美术的起源
针对用于快速传递对准的卡尔曼滤波器阶数高,计算量大,滤波更新率低,鲁棒性差及对准精度不高等问题,提出采用联合强跟踪Kalman滤波器进行快速传递对准。文中设计了联合强跟踪Kalm