【摘 要】
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PSG(磷硅玻璃)是一种常用的半导体器件表面钝化材科。其内部结构由于含有带负电的、未桥联的氧原子形成的负电中心,对器件表面Si-SiO_2系统中的表面电荷,尤其是以Na~+为代表
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PSG(磷硅玻璃)是一种常用的半导体器件表面钝化材科。其内部结构由于含有带负电的、未桥联的氧原子形成的负电中心,对器件表面Si-SiO_2系统中的表面电荷,尤其是以Na~+为代表的可动电荷具有显著的提取、固定和阻挡作用。但是PSG容易吸潮,对金属引线
PSG (Phosphosilicate Glass) is a commonly used semiconductor device surface passivation material. Its internal structure contains negative charges and unbridged oxygen atoms to form the negative charge center, which has a significant effect on the surface charge in the Si-SiO 2 system, especially the movable charge represented by Na ~ +. And blocking effect. But PSG is easy to absorb moisture, against metal leads
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