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超长钨丝阵列锐化的研究
超长钨丝阵列锐化的研究
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:howard2000_0
【摘 要】
:
本文报告了玻璃介质钨丝阵列场发射阴极欧姆接触的三种制造方法,以及场发射尖端阵列的锐化工艺—提拉法和倒提拉法。同时给出了锐化结果的电镜照片。更多还原
【作 者】
:
朱长纯
张晓永
吴春瑜
刘光冶
【机 构】
:
西安交通大学电子工程系,中国科学院电子所
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
场致发射阴极
腐蚀
欧姆接触
Field emitter array
etch
ohmic contacting
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本文报告了玻璃介质钨丝阵列场发射阴极欧姆接触的三种制造方法,以及场发射尖端阵列的锐化工艺—提拉法和倒提拉法。同时给出了锐化结果的电镜照片。更多还原
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