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对国外近几年在半导体器件成品率与可靠性之间的关系研究情况进行了综合、分析 ,介绍了成品率预计模型及其参数的选取。
半导体器件成品率与可靠性之间的关系研究
【摘 要】
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对国外近几年在半导体器件成品率与可靠性之间的关系研究情况进行了综合、分析 ,介绍了成品率预计模型及其参数的选取。
【机 构】
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信息产业部电子五所
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2000年2期
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