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用微波等离子体化学气相沉积方法,在硅和石英玻璃基片上合成出了金刚石。更多还原
微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石
【摘 要】
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用微波等离子体化学气相沉积方法,在硅和石英玻璃基片上合成出了金刚石。更多还原
【机 构】
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吉林大学化学系,吉林大学化学系长春,长春,长春
【出 处】
：
吉林大学自然科学学报
【发表日期】
：
1991年4期
【基金项目】
：
国家自然科学基金
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