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期刊论文
微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石
微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石
来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:y2228158
【摘 要】
:
用微波等离子体化学气相沉积方法,在硅和石英玻璃基片上合成出了金刚石。更多还原
【作 者】
:
于爱民
徐文国
张寒琦
金钦汉
【机 构】
:
吉林大学化学系,吉林大学化学系长春,长春,长春
【出 处】
:
吉林大学自然科学学报
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
金刚石
合成
微波等离子体
CVD
Microwave Plasma
diamond
synthesis
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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用微波等离子体化学气相沉积方法,在硅和石英玻璃基片上合成出了金刚石。更多还原
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