半导体激光器在像散离焦误差检测方法中的应用研究

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hejingyang0806
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介绍了一种基于动、静态像散法的多功能表面形貌测量仪.为了使测头小型化,该仪器采用半导体激光器做光源,像散法是一种基于光斑形状测量的离焦误差检测方法,对光源的光束质量要求高,本文从理论上分析了光束质量(光束截面形状、场分布和光功率)对测量的影响,这对光源的选择、设计具有指导意义.并基于此对半导体激光器发出的光束进行了准直、整形和稳功率控制,用激光束质量分析仪对光束进行了实测,测试结果表明所设计光源能满足使用要求.本文还给出了对不同表面特性的被测件的实测静态特性曲线,和分别用动、静态方法对透射光栅测量的结果.
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