【摘 要】
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对激光二极管中冷却和界面联接热阻两个关键环节进行了分析,设计了一种五层结构的模块式铜微通道冷却器,对于腔长0.9 mm、宽10 mm的线阵激光器二极管(DL)芯片热阻为0.39℃/W.
【机 构】
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中国工程物理研究院应用电子学研究所
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对激光二极管中冷却和界面联接热阻两个关键环节进行了分析,设计了一种五层结构的模块式铜微通道冷却器,对于腔长0.9 mm、宽10 mm的线阵激光器二极管(DL)芯片热阻为0.39℃/W.对冷却器进行了面阵DL封装实验,在工作电流52 A,电压41.4 V时,封装的面阵DL输出功率1005 W,电光效率45%,中心波长807.3 nm,谱宽约2.2 nm.经快轴准直后整个面阵输出激光的发散角小于2°(快轴)×12°(慢轴).
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