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介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要方法,着重讨论了金刚石薄膜的摩擦学性能研究,简要分析了化学气相沉积金刚石薄膜中存在的问题.
化学气相沉积金刚石薄膜的摩擦学性能研究进展
【摘 要】
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介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要方法,着重讨论了金刚石薄膜的摩擦学性能研究,简要分析了化学气相沉积金刚石薄膜中存在的问题.
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2003年1期
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