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在使用基于微控制器的静电探针自动测量仪对射频耦合等离子体进行诊断时,为了获得良好的测量效果,分析了射频耦合等离子体测量环境中主要干扰源的形成原因及其耦合路径,特别是射频和电源干扰;结合测量仪本身的特点,针对性地提出了屏蔽、接地、隔离、滤波等多种抗干扰措施。通过实验对比验证了所采取措施的有效性,这为获取更为准确的等离子体参数提供了保证。