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采用热丝法沉积金刚石膜，分离送入氢气和甲烷，使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低２０％，用此法制得的金刚石晶形较好，实验表明：反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大。
分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜
【摘 要】
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采用热丝法沉积金刚石膜，分离送入氢气和甲烷，使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低２０％，用此法制得的金刚石晶形较好，实验表明：反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大。
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59392800,,辽宁省科学技术委员会资助,,中科院金属腐蚀与防护国家重点实验室资助
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