用准分子激光CVD制作SnO2微透镜及其阵列的技术研究

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本文利用准分子激光CVD技术以液态SnCl4和氧气为源制出了半径45μm的SnO2薄膜微透镜及微透射镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。
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