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用Li2B4O7晶体为基片的光刻腐蚀研究
用Li2B4O7晶体为基片的光刻腐蚀研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WAYA123456
【摘 要】
:
介绍了以Li2B4O7晶体为声表面波器件基片材料的光刻腐蚀方法,对产生的几种主要缺陷进行了分析讨论。
【作 者】
:
周亚栋
何先莉
【机 构】
:
北京工业大学
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
晶体
声表面波
光刻
腐蚀
基片
lithium tetraborate crystal
SAW
photoetching
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介绍了以Li2B4O7晶体为声表面波器件基片材料的光刻腐蚀方法,对产生的几种主要缺陷进行了分析讨论。
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