【摘 要】
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综述微型机电系统／微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状。相对硅微细加工和ＬＩＧＡ工艺，不采用掩膜版的特种微细加工技术，如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系!北京 100084;
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综述微型机电系统／微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状。相对硅微细加工和ＬＩＧＡ工艺，不采用掩膜版的特种微细加工技术，如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展，在三维微小机械结构成型上有独到优势；同时扫描隧道显微加工技术的开发将微型机械向极限尺寸领域推进。微型机电系统／微型机械的长足发展有赖于融合已有先进技术和交叉学科思想的微型机械加工技术的进一步研究开发。
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