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试验中,测量了直径为100-160mm的3种磁控管在0.1帕以下压强下的工作情况,在低,中等放电功率密度≤10w/cm^2,氩气压强降到1.1~2×10^-2帕的范围时仍能达到稳定的放电。在2~100w/cm^2的靶功率密度范围内测量了自溅射的放电特性,在57w/cm^2功率密度下铜能够发生自溅射,在使用其它5种靶材料银,铅,镉,黄铜和铝青铜时也观察到了自溅射情况。