论文部分内容阅读
在400℃及低于400℃的温度下用氧/氯等离子气体在硅上生长了氧化物。研究了氧化物的电击穿强度和低温热退火后的界面及体内特性。业已表明,对于器件应用来讲,等离子生长氧化物的电性能是绰绰有余的。
等离子生长氧化硅的电性能
【摘 要】
：
在400℃及低于400℃的温度下用氧/氯等离子气体在硅上生长了氧化物。研究了氧化物的电击穿强度和低温热退火后的界面及体内特性。业已表明,对于器件应用来讲,等离子生长氧化
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
1989年1期
其他文献
随着信息技术发展和社会信息化的加快，国民经济对信息和信息系统的依赖越来越大，由此而产生的信息安全问题也日益突出，文章以有关信息安全的国际标准为理论基础，提出了以风险管理
文章根据资本资产定价模型的贝塔系数，运用线形回归的方法对中国A股市场开发区板块的股票投资风险进行统计验证分析。通过对比样本股股改前后的β系数和R^2的变化，试图为投资者
一种可广泛应用于大型公共建筑、比现有离心式冷水机组节能30％的新型中央空调，最近研制成功。这种新型离心式冷水机组被专家们一致评定为达到国际领先水平。
<正> 目前,许多高性能模拟集成电路采用介质隔离技术。精密放大器、视频电路、模拟开关、高输入电压电路,甚至模拟专用集成电路(ASIC),均通过采用介质隔离技术而提高了性能,
在经济全球化的今天，企业竞争越来越激烈，对服务行业的要求越来越高，酒店业作为服务业的典型代表，当然也不能例外。目前我国酒店业虽然取得了巨大的进步，但是也暴露出了许多问题。
摘要:文章介绍无功补偿的作用,分析低压并联电容器无功补偿的种类、电容补偿控制的选择及补偿容量的确定等。 关键词:低压并联电容器;无功补偿;技术;经济性 中图分类号:TM92文献标识码:A文章编号:1006-8937(2009)14-0029-02 无功功率是维持电力系统正常运行最主要的一个因素。搞好电力系统的无功平衡,提高负荷的功率因数,可以减少线路和变压器中的有功功率损耗和其他电能损耗
文章从库存的本质入手，揭示了企业一定库存存在的必要性及一定的合理性，及由此带来的一定的成本的付出，在牛鞭效应的存在下，我们发现企业库存额远大于市场所需的实际库存额，形成了
文章阐述了制造执行系统（MES）的原理，结合半导体制造业的行业背景，对半导体制造业中构建MES进行了研究并分析了其实践意义。