【摘 要】
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针对目前精确定位技术在精微操作领域的应用,设计了基于音圈电机的精密扫描定位装置,用于实现光谱扫描测量中成像光斑的定位。根据不同电机驱动的对比,选择直线型音圈电机作
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室
【基金项目】
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中国科学院科研装备研制项目(YZ201224)资助
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针对目前精确定位技术在精微操作领域的应用,设计了基于音圈电机的精密扫描定位装置,用于实现光谱扫描测量中成像光斑的定位。根据不同电机驱动的对比,选择直线型音圈电机作为精密定位的驱动装置。结合不同直线型直流电机的分类,详细叙述了音圈电机的工作原理、参数及选择依据。在结构设计中采用了柔性轴承和悬臂,并对柔性悬臂进行受力分析。结合精确定位及音圈电机的工作需求,设计了专门的驱动装置。通过实验对扫描定位装置进行性能验证,结果显示,定位装置的稳定时间小于30 ms,长时间的偏移小于1.5μm,满足扫描定位的微米量级的设计要求。
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