【摘 要】
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针对电动汽车、光伏、储能等战略性新兴产业对高可靠高效率碳化硅功率MOSFET器件的需求，开展了650 V碳化硅外延结构、芯片JFET区尺寸和掺杂等关键技术研究，研制出比导通电阻2.3 mΩ·cm~2的650 V、200 A碳化硅MOSFET。器件在漏极电压900 V时，漏源漏电流小于1μA；在环境温度150℃、栅极偏置电压22 V的应力条件下，经过1 000 h的高温栅偏可靠性试验，阈值电压正向漂
【机 构】
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南京电子器件研究所宽禁带半导体电力电子器件国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划项目（2020YFF0218500）； 国家自然科学基金重点项目（12035019）；
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针对电动汽车、光伏、储能等战略性新兴产业对高可靠高效率碳化硅功率MOSFET器件的需求，开展了650 V碳化硅外延结构、芯片JFET区尺寸和掺杂等关键技术研究，研制出比导通电阻2.3 mΩ·cm~2的650 V、200 A碳化硅MOSFET。器件在漏极电压900 V时，漏源漏电流小于1μA；在环境温度150℃、栅极偏置电压22 V的应力条件下，经过1 000 h的高温栅偏可靠性试验，阈值电压正向漂移量小于0.3 V，显示出良好的稳定性。
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