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本文阐述了微电子环境中静电产生的原理、过程、对微电子元件的危害及其静电防护的重要性和防护措施。由所配备的静电防护区域可使微电子环境中的电子器件、设备得到有效保护。
论微电子环境中的静电防护
【摘 要】
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本文阐述了微电子环境中静电产生的原理、过程、对微电子元件的危害及其静电防护的重要性和防护措施。由所配备的静电防护区域可使微电子环境中的电子器件、设备得到有效保护
【机 构】
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长春科技大学
【出 处】
：
现代情报
【发表日期】
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2000年2期
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