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采用低温法进行10^—9级水的分析
采用低温法进行10^—9级水的分析
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lrqnm
【摘 要】
:
采用低温法进行10~(-9)级水的分析KayDensBuckReseach公司(BoulderCO)介绍了一种仪器,它可以在半导体生产过程中,进行气体中10-9和10-12水量的在线测定。该仪器为“CR—1型气体水分分析仪”,这是一个低温仪器,可以给...
【作 者】
:
Dens
K
张琳
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
低温法
10^-9级
水
分析
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采用低温法进行10~(-9)级水的分析KayDensBuckReseach公司(BoulderCO)介绍了一种仪器,它可以在半导体生产过程中,进行气体中10-9和10-12水量的在线测定。该仪器为“CR—1型气体水分分析仪”,这是一个低温仪器,可以给...
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