使用单片微机的离子源弧流稳定系统

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设计和制造一套使用单片微计算机的离子源弧流稳定系统,使用光纤传递信息以使高压与低压隔离,使得在低压侧用同一系统通过切换来控制直热式和间热式离子源,使之弧流稳定.达到的弧流稳定度优于±1%(F.S.) Design and manufacture of an ion source arc flow stabilization system using a monolithic microcomputer that uses optical fiber to transmit information to isolate high and low pressures so that direct and indirect thermal ionization sources can be controlled by switching from the same system on the low pressure side, Make the arc flow stable. The arc current stability reached better than ± 1% (FS)
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