【摘 要】
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超光滑光学表面广泛地应用在短波段光学领域,如同步辐射光束线的反射镜、软X射线波段的多层膜基底等.其表面的粗糙度通常要求小于0.5nmRMS.目前粗糙度好于0.5nmRMS的光学表面
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学精密机械仪器系,中国科学技术大学精密机械仪器系,Department of
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超光滑光学表面广泛地应用在短波段光学领域,如同步辐射光束线的反射镜、软X射线波段的多层膜基底等.其表面的粗糙度通常要求小于0.5nmRMS.目前粗糙度好于0.5nmRMS的光学表面是采用特殊磨料,用非常规方法加工的,其缺点是工艺难度大,技术要求高,抛光的均匀性也难以保证.把离子束刻蚀技术用于超光滑表面的抛光这一加工方法,不仅可以提高抛光质量,而且大大提高了工作效率,并确保了工艺的稳定性和抛光的均匀性.
Ultra-smooth optical surfaces are widely used in the field of short-wave optics such as mirrors for synchrotron radiation beamlines, multilayer film substrates for soft X-ray wavebands, etc. The surface roughness is usually required to be less than 0.5 nm RMS.Current roughness is better than 0.5 nmRMS optical surface is a special abrasive, with unconventional method of processing, the disadvantage is the process is difficult, high technical requirements, polishing uniformity is difficult to guarantee the ion beam etching technology used for polishing the surface of this ultra-smooth Processing methods, not only can improve the polishing quality, but also greatly improve the work efficiency and ensure the stability of the process and polishing uniformity.
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