【摘 要】
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三氧化钨(WO3)纳米薄膜是一种典型的气敏材料,如何提高薄膜的气敏性能一直是薄膜气敏传感器材料领域的研究重点.本文结合近年来国内外研究成果,综述了最近几年纳米WO3薄膜的
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三氧化钨(WO3)纳米薄膜是一种典型的气敏材料,如何提高薄膜的气敏性能一直是薄膜气敏传感器材料领域的研究重点.本文结合近年来国内外研究成果,综述了最近几年纳米WO3薄膜的研究现状和进展,阐述了改善WO3薄膜气敏性能的重要方法.
Tungsten trioxide (WO3) nano-film is a typical gas-sensitive material, how to improve the gas-sensing performance of thin-film gas sensor has been the focus of research in this field.Based on the research results at home and abroad in recent years, The current research status and progress of nano-WO3 thin films are described. The important methods to improve the gas sensing properties of WO3 thin films are described.
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