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引言真空镀膜特种陶瓷电极主要是由BN—TiB<sub>2</sub>—AlN三相组成,作为一种真空条件下的加热源,它的化学组成是影响其寿命和镀膜质量的重要因素。以往对这类电极的成分分析研究的较少,且用普通的化学分析方法分析是很困难的。为此,我们采用ICP—AES法对电极中的B、Al、Ti、Fe、Mn、Mo、Si七个元素进行了测定,方