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采用溶胶—凝胶技术合成CuO薄膜,主要探讨溶胶—凝胶法制备CuO溶胶的工艺.研究了Ag掺杂量、涂膜次数、改换N2气氛温度和最高热处理温度对膜层形貌的影响.通过扫描电镜(SEM)观察膜层形貌并确定各工艺参数.结果表明,南醋酸铜制备的浓度为0.150mol/L的溶胶稳定性好;Ag的最佳掺杂量为12%(mol/mol),涂膜次数为1次,改换N2的温度为400℃,最高热处理温度为850℃.