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介绍了用LCVD法合成并沉积TiC、TiN类陶瓷膜的方法、原理、工艺特点以及LCVD法的一些独特优点。
激光化学气相沉积TiC,TiN类陶瓷薄膜概况
【摘 要】
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介绍了用LCVD法合成并沉积TiC、TiN类陶瓷膜的方法、原理、工艺特点以及LCVD法的一些独特优点。
【机 构】
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华中理工大学机二系,华中理工大学机二系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1994年1期
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