【摘 要】
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运用室温溶胶-凝胶技术和热处理工艺，在载玻片上制备了铝离子掺杂的ZnO薄膜。采用X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的成分、结构和形貌进行了表征；采用紫外-可见光分光光
【机 构】
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中国海洋大学材料科学与工程研究院,中国科学院青岛生物能源与过程研究所,中国科学院金属研究所
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运用室温溶胶-凝胶技术和热处理工艺，在载玻片上制备了铝离子掺杂的ZnO薄膜。采用X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的成分、结构和形貌进行了表征；采用紫外-可见光分光光度计对薄膜的透光性能进行了研究。结果表明，所制备的氧化锌薄膜为六方纤锌矿结构，沿C轴方向择优生长；铝离子的掺杂没有改变氧化锌的基本结构，所掺杂的铝离子为取代锌离子的替位掺杂；热处理后，氧化锌颗粒为六角形针（柱）状形貌；随着热处理温度的升高，薄膜的透光率增大；经600℃热处理后随着铝离子掺杂浓度的增加，薄膜的透光率先增大后减小
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