【摘 要】
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采用气相制绒方法对金刚石切割多晶硅片进行表面制绒.2g硅加到HF-HNO3-H2O(400mL,体积比为6:3:1)的酸混合溶液中在室温下反应产生气相,利用气相对金刚石切割多晶硅片表面进行
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采用气相制绒方法对金刚石切割多晶硅片进行表面制绒.2g硅加到HF-HNO3-H2O(400mL,体积比为6:3:1)的酸混合溶液中在室温下反应产生气相,利用气相对金刚石切割多晶硅片表面进行制绒研究.制绒4min时,硅片表面的切割纹被完全去除、大坑套小坑的蜂窝状蚀坑密布硅片表面,减反效果显著,反射率低至19.51%.气相制绒后的金刚石切割多晶硅片表面的微观粗糙度比传统酸混合溶液制绒后的高约20%.
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