压电陶瓷微动台的复合控制

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压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度,为了解决这一问题,采用一种改进的PI模型对微动台的迟滞非线性进行了建模。为了提高传统PID算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能,将改进的PI模型与传统PID算法组合构成前馈复合控制算法,并进行了微动台的慢速与快速动态定位实验。结果表明,对同频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差为传统PID算法的40%左右,平均误差为传统算法的20%~30%左右;对多频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差和平均误差为传统PID算法的33%左右。数据表明前馈PID复合算法的动态定位性能明显优于传统PID算法。
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