【摘 要】
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一、LSI 掩膜缺陷自动检查仪。国内首次研制成功。技术指标达到七十年代末美国KLA—100水平。二、单机多色激光光阀大屏幕显示机验收。技术水平和实用性国内领先,为军事指挥
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一、LSI 掩膜缺陷自动检查仪。国内首次研制成功。技术指标达到七十年代末美国KLA—100水平。二、单机多色激光光阀大屏幕显示机验收。技术水平和实用性国内领先,为军事指挥系统提供了自动式动态大屏幕多色显示终端。三、动铁式和内磁式振镜。达到国际先进。四、YAG 刻槽机。与上无一厂共同研制。
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