【摘 要】
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<正>微电子制造技术与设备用于光学处理技术已司空见惯,近年来光学技术用于芯片制作或淀积技术也取得了很大成功,但这些很大程度上还是一种单向的知识应用.然而,各种技术的融
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<正>微电子制造技术与设备用于光学处理技术已司空见惯,近年来光学技术用于芯片制作或淀积技术也取得了很大成功,但这些很大程度上还是一种单向的知识应用.然而,各种技术的融合已设计和制作出了一些新的、小型化和优化的光学系统,这在传统的光学设计及其制造方法中是前所未有的.目前光学镀膜这个领域的工作主要在宏观的物体上进行,例如全部光学表面可以很容易镀以带通滤光片.但由于采用的是金属掩模,这使光学德光片图形的精密淀积受到限制.金属掩模能够经受真空镀膜过程中的热量,可生成坚硬,耐久性好的多层介质膜,但制作成
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