【摘 要】
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为了探讨Cr含量对类石墨碳（GLC）涂层硬度的影响机理,采用非平衡磁控溅射离子镀技术,通过调整Cr靶电流,制备出了具有不同Cr含量的GLC涂层。借助显微硬度计测量了涂层的硬度,利用
【机 构】
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西安理工大学材料学院,陕西理工学院材料系
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为了探讨Cr含量对类石墨碳（GLC）涂层硬度的影响机理,采用非平衡磁控溅射离子镀技术,通过调整Cr靶电流,制备出了具有不同Cr含量的GLC涂层。借助显微硬度计测量了涂层的硬度,利用X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）分析了涂层的成分、相组成和主元素的价键结构。结果表明,Cr有显著软化GLC涂层的作用。随着Cr含量增加,GLC涂层中的sp3杂化碳的含量持续减小,sp2杂化碳的含量先增后减,而金属铬及碳铬化合物的含量则不断增大。上述因素对GLC涂层的硬度变化均有影响,而涂层中sp3杂化碳的含量随着
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