【摘 要】
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研制成了一种新型催化剂,它由普通小分子有机化合物(如甲基紫等)和CMPS树脂,一起溶解在一定的溶剂中配制而成.用此催化剂做了远紫外曝光的各种腐蚀特性实验,获得了满意的结果
【机 构】
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中国科学院微电子中心,中国科学院微电子中心 北京,北京
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研制成了一种新型催化剂,它由普通小分子有机化合物(如甲基紫等)和CMPS树脂,一起溶解在一定的溶剂中配制而成.用此催化剂做了远紫外曝光的各种腐蚀特性实验,获得了满意的结果.
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