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光刻技术是当前微电子设备产业的关键技术,促进了信息时代的发展.关于光刻技术市场和技术的竞争正在展开,大量的开发和研发资金被投入到竞赛中.通过加强对光刻技术的研究,能提升微电子设备的性能,节约生产资金.本文探讨了光刻技术在微电子设备中的应用及发展.
光刻技术在微电子设备中的应用及发展研究
【摘 要】
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光刻技术是当前微电子设备产业的关键技术,促进了信息时代的发展.关于光刻技术市场和技术的竞争正在展开,大量的开发和研发资金被投入到竞赛中.通过加强对光刻技术的研究,能
【机 构】
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贝迪斯电子有限公司,安徽蚌埠,233010
【出 处】
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数码设计（下）
【发表日期】
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2020年8期
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