【摘 要】
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研究了不同生长温度对分子束外延设备在蓝宝石衬底上外延A1N薄膜时对薄膜样品晶体质量和表面形貌的影响。研究发现：随着生长温度的提高，RHEED条纹更加纤细、更加细锐；在低温下，A1
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研究了不同生长温度对分子束外延设备在蓝宝石衬底上外延A1N薄膜时对薄膜样品晶体质量和表面形貌的影响。研究发现：随着生长温度的提高，RHEED条纹更加纤细、更加细锐；在低温下，A1N表面有密集的小岛状晶粒结构，但随着温度的升高，小岛之间开始聚合，并形成大范围的原子力台阶，表明A1N薄膜在高温下有良好的二维生长模式；（002）和（102）面XRD半高宽结果进一步表明A1N薄膜的二维生长模式，且在高温下，A1N薄膜中的刃型位错密度大大减小。说明提高生长温度有助于提高A1N薄膜的晶体质量，获得平坦的表面。
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