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本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理，同时结合硅微机械结构和材料特性，给出微静电驱动实现的考虑。
微机械结构的微静电驱动
【摘 要】
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本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理，同时结合硅微机械结构和材料特性，给出微静电驱动实现的考虑。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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1995年1期
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