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用微波等离子体增强化学气相沉积方法（MPECVD），利用氢气和甲醇的混合气体，在硅片上沉积出纳米晶粒的金刚石薄膜。用扫描电子显微镜（SEM）、拉曼光谱（Raman）、原子力显微镜（AFM）及扫描隧道显微镜（STM）对薄膜的晶粒平面平整性及纯度进行了表征。通过SEM发现，提高甲醇浓度或降低沉积温度可以减小金刚石膜的晶粒尺寸。拉曼光谱显示薄膜中确实存在纳米晶粒的金刚石，并且薄膜的主要成分为金刚石。用AFM测得薄膜表面的粗糙度Rms〈80nm，STM观测晶粒的平均尺寸在10～20nm之间。研究结果表明，用MPE