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本文论述了真空微电子器件的发展远景,并回答了为什么真空微电子器件在未来必将取代固体器件,以及目前它在工艺上和理论上存在些什么困难。
真空微电子器件发展现状及远景了望
【摘 要】
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本文论述了真空微电子器件的发展远景,并回答了为什么真空微电子器件在未来必将取代固体器件,以及目前它在工艺上和理论上存在些什么困难。
【机 构】
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西安电子科技大学710071
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1993年4期
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