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期刊论文
智能化接触式干涉仪
智能化接触式干涉仪
来源 :上海计量测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户:winyx000
【摘 要】
:
本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法,即用CCD作为光电转换接收器,代替人眼工作,用单片机自动处理信号,代替手工处理,并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失,反而略有
【作 者】
:
陈吉武
亓勇
【机 构】
:
中国计量学院,浙江大学
【出 处】
:
上海计量测试
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
CCD
干涉仪
微机
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本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法,即用CCD作为光电转换接收器,代替人眼工作,用单片机自动处理信号,代替手工处理,并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失,反而略有提高。
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