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本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法，即用ＣＣＤ作为光电转换接收器，代替人眼工作，用单片机自动处理信号，代替手工处理，并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失，反而略有提高。
智能化接触式干涉仪
【摘 要】
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本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法，即用ＣＣＤ作为光电转换接收器，代替人眼工作，用单片机自动处理信号，代替手工处理，并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失，反而略有
【机 构】
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中国计量学院,浙江大学
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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1996年5期
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